ВАЖНЫЕ НОВОСТИ
В Министерстве цифрового развития России состоялось заседание Государственной комиссии по радиочастотам (ГКРЧ)

Поступила первая заявка на выделение полос для гибридных сетей связи В Государственную комиссию по радиочастотам (ГКРЧ) поступила просьба от компании МТС о выделении частотного диапазона 1920-1980/2110-2170 МГц для тестирования новых гибридных сетей связи. Эти инновационные сети предоставляют возможность объединения земных станций и спутниковых каналов на основе единого стандарта, обеспечивая р...

На совещании, которое провел Денис Мантуров, обсудили развитие отечественной станкоинструментальной промышленности

В Координационном Центре Правительства Российской Федерации состоялось совещание о развитии станкоинструментальной промышленности под председательством заместителя Председателя Правительства Российской Федерации – Министра промышленности и торговли Российской Федерации Дениса Мантурова и заместителя Председателя Правительства Российской Федерации Дмитрия Чернышенко. В мероприятии приняли уча...

В Нижегородской области принята Стратегия развития кластера индустрии товаров для детей

В Нижегородской области запущен кластер индустрии детских товаров в соответствии с регламентом развития сектора на 2023–2024 годы, утвержденным решением Правительства этого региона. Основная цель стратегии заключается в формировании кластера индустрии детских товаров в Нижегородской области, в который входят малые и средние предприятия, крупные компании, научные и образовательные учрежден...

Во Владимирской области готовятся к созданию стекольного кластера с привлечением китайских партнеров

В Минпромторге России, при участии заместителя министра промышленности и торговли Российской Федерации Алексея Беспрозванных и академика Китайской Инженерной Академии, главного научного сотрудника и директора Научно-исследовательского института передовых стеклянных материалов Пэн Шоу, был подписан Меморандум о развитии стекольного кластера во Владимирской области. Документ подписали губернатор Вла...

Минпромторг Российской Федерации объявляет о проведении отбора получателей субсидий производителям станкоинструментальной продукции

Открыт отбор получателей субсидий производителям станкоинструментальной продукции в целях предоставления покупателям скидки при приобретении такой продукции на 2024 год. Министерство промышленности и торговли Российской Федерации объявляет о проведении отбора получателей субсидий производителям станкоинструментальной продукции в целях предоставления покупателям скидки при приобретении такой про...

Минцифры изменяет правила аккредитации информационно-технологических компаний

Ещё больше компаний смогут претендовать на ИТ-аккредитацию, а процесс её подтверждения станет удобнее. Минцифры подготовило соответствующий проект постановления. Большинство изменений вступят в силу с 1 мая 2024 года. Что мы предлагаем Для малых технологических компаний, созданных менее 3 лет назад, отменяется критерий по проверке доли дохода от ИТ-деятельности Если компания получила аккр...

14 Июля 2010

Создание приборов на полупроводниках методом легирования для получения пучков ионов.

Создание приборов на полупроводниках методом легирования для получения пучков ионов.

Уcтрoйcтвo coздания иoнных пoтoкoв
Автoры: Мoрoзoв Евгений Алекcандрoвич, Ефимoв Игoрь Никoлаевич

Изoбретение oтнocитcя к oблаcти coздания полупроводниковых приборов методом легирования и предназначено для получения направленных потоков (пучков) ионов. Уcтройcтво cоздания ионных потоков cоcтоит из вакуумной камеры c иcточником ионов и двух электродов, причем иcточник ионов выполнен в виде резервуара c жидкоcтью, внутри которого уcтановлен электрод (анод). Электрод и cтенки резервуара расположены с некоторым зазором, создающим капиллярное движение потока жидкости из резервуара, второй электрод (катод) выполнен в форме пластины со щелью, расположенной над первым электродом (анодом). Электрод (анод) выполнен в виде пластины - лезвия. Резервуар может быть соединен как с нагревательным элементом, так и с криогенной установкой. Технический результат - повышение мощности автоэмиссионного источника ионов за счет одновременного повышения силы тока и энергии ионов в пучке. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к области создания полупроводниковых приборов методом легирования и предназначено для получения направленных потоков (пучков) ионов.

Известна конструкция автоэмиссионного жидкометаллического источника ионов (Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. / Под редакцией Д.Бригса, М.П.Сиха. Москва, «Мир», 1987 г., стр. 88-90).

Игла с радиусом закругления 1-10 мкм, проходящая через плотно прилегающий капилляр, другим концом погружена в резервуар с жидким металлом. Материал иглы выбран таким образом, чтобы жидкий металл смачивал его, но не вступал в химическую реакцию. При смачивании жидкий металл благодаря воздействию капиллярных сил движется вверх по выступающему концу иглы к её вершине, а любая потеря металла возмещается за счет металла, поступающего из резервуара. На небольшом расстоянии от конца иглы располагается вытягивающий электрод. Между иглой и вытягивающим электродом создается разность потенциалов от 4 до 10 кВ. Вследствие равенства сил электростатического притяжения и поверхностного натяжения пленка жидкого металла на конце иглы образует выступ. Вблизи конца острия возникает сильное электростатическое поле, которое обеспечивает формирование пучка положительно заряженных ионов металла, которые вытягиваются через круглое отверстие в электроде и формируют поток ионов с током порядка 100 мкА.

Задачей данного изобретения является повышение мощности автоэмиссионного источника ионов за счет одновременного повышения силы тока и энергии ионов в пучке.

Поставленная цель достигается за счет того, что устройство создания ионных потоков состоит из вакуумной камеры с источником ионов и двух электродов, причем источник ионов выполнен в виде резервуара с жидкостью, внутри которого установлен электрод (анод). Электрод и стенки резервуара расположены с некоторым зазором, создающим капиллярное движение потока жидкости из резервуара, второй электрод (катод) выполнен в форме пластины со щелью, расположенной над первым электродом (анодом). Электрод (анод) может быть выполнен в виде пластины - лезвия. Резервуар может быть соединен с нагревательным элементом и соединен с криогенной установкой.

Выполнение электрода в виде тонкой пластины в форме лезвия с радиусом закругления кромки ~ 1 мкм приводит к увеличению силы тока пучка ионов. При этом, неизбежное снижение напряженности электростатического поля, препятствующее образованию потока ионов, компенсируется увеличением на порядок разности потенциалов между пластиной и вытягивающим электродом.


Конструкция устройства создания ионных потоков поясняется на чертеже.

Ионный источник состоит из резервуара с жидкостью, образующей ионы, - 1; пластины из металла, смачиваемого жидкостью резервуара в форме лезвия, - 2; прилегающего к лезвию капилляра - 3; расположенного над пластиной вытягивающего электрода с отверстием для формирования ионного пучка - 4. Источник помещен в вакуумную камеру - 5. Регулирование температуры жидкости осуществляется применением индукционного нагрева для расплавов или криогенной системы для работы сжиженными газами - 6. Между пластиной и вытягивающим электродом создается разность потенциалов U ~ 100 кВ.

Устройство работает следующим образом

Жидкость смачивает пластину 2, не вступая с ней в химическую реакцию, и вследствие капиллярного эффекта движется к кромке пластины, образуя на кромке линейный микровыступ. Высокая разность потенциалов между пластиной 2 и вытягивающим электродом 4 и малый радиус закругления кромки приводят к возникновению в области микровыступа сильно неоднородного электростатического поля. Указанное поле переводит жидкость в неустойчивое состояние и приводит к формированию плоского ионного потока, который выводится через отверстие в вытягивающем электроде 4.

Таким образом, конструкция автоэмиссионного ионного источника использует для движения ионообразующей жидкости в область сильно неоднородного электростатического поля пластину в форме лезвия с кромкой малого закругления.



Кол-во просмотров: 13067
Яндекс.Метрика