Новосибирскими физиками из Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН разработан новый стандарт измерения нановысоты - идеально гладкой поверхности. Открытие позволит ученым получать в оптических микроскопах разрешение в одну триллионную часть метра.
Из информации, полученной от старшего научного сотрудника института Сергея Косолобова , стало известно что в лаборатории нанодиагностики и нанолитографии давно велись работы по созданию идеально гладкой поверхности. Ученые вели наблюдение за перестройкой атомов, в результате эксперимента удалось получить поверхность, которая не содержит на себе слои атомов, так называемых "атомных ступеней".
- "Шероховатости" на полученных гладких поверхностях равны "высоте" одного атома кремния, и между ними образуются достаточно широкие "террасы", которые не содержат таких выступов. Это можно считать самой гладкой поверхностью в мире, - рассказал Сергей Косолобов.
Размеры таких поверхностей составляют от 10 до 300 микрон, при этом высота одной атомной "ступени" всегда одинакова - 0,3 нанометра. Ученые считают, что если собрать 10 таких "ступеней", можно получить стандарт высоты размером в три нанометра.
- Для нанотехнологий существование такого стандарта представляет собой очень важную задачу. Сегодня в мире существуют стандарты от 90 и более нанометров, а нам удалось получить значительно меньшее значение , - добавил ученый.
Созданный новосибирскими физиками эталонный стандарт сейчас находится на регистрации в госреестре средств измерений.
