Холдинг «Росэлектроника» Госкорпорации Ростех разработал первый полностью российский микродисплей на органических электролюминесцентных светодиодах (OLED). Устройство предназначено для индивидуальных средств отображения информации, таких как очки виртуальной, дополненной и смешанной реальности (VR/AR/MR), фото- и видеокамеры, а также наголовные и нашлемные видеомодули, тепловизионные прицелы и тепловизоры.
Микродисплей размером 15,5х12,5 мм выдает изображение с разрешением 1280х1024 пикселей и шагом пикселей в 12 мкм. Производство OLED-микродисплеев требует соблюдения повышенных требований к технологическому процессу. Так, важно соблюдать высокую точность обработки верхнего стека кремниевой сверхбольшой интегральной схемы (СБИС) и нанесения многослойной OLED-структуры, толщина которой не превышает 100 нанометров.
«Россия вошла в пятерку стран в мире, которые владеют технологиями создания OLED-микродисплеев. Нам удалось не только освоить сложнейшую технологию изготовления, но и добиться высокого качества выпускаемых изделий. Наше предприятие готово ежегодно выпускать до 5000 устройств», – сказал генеральный директор Объединенной приборостроительной корпорации Сергей Сахненко.
ОКР и освоение серийного производства выполнены ЦНИИ «Циклон» холдинга «Росэлектроника». ЦНИИ «Циклон» является единственным в России предприятием, обладающим промышленным оборудованием и технологией для изготовления OLED-структур и устройств на их основе. Технологии создания кремниевых микросхем управления и изготовления OLED-микродисплеев запатентованы и защищены режимами секрета производства ноу-хау.
Создание российской кремниевой СБИС проходило в широкой кооперации предприятий Госкорпорации Ростех. Схемотехнические решения разработаны НИИМА «Прогресс», топология – НИИМЭ, а кремниевые 200-мм пластины со СБИС изготовлены компанией ПАО «Микрон», входящей в ГК «Элемент» (совместное предприятие Госкорпорации Ростех и АФК «Система»).
