ВАЖНЫЕ НОВОСТИ
Цифромация.РФ: как ИИ и автоматизация помогут МСБ выжить и расти в 2025 году

15 мая 2025 года в Москве и онлайн состоится конференция «Цифромация.РФ 05.15.2025 — цифровая трансформация бизнеса» — практическое событие для малого и среднего бизнеса, предпринимателей и самозанятых. В центре внимания конференции — конкретные решения для ключевых проблем, с которыми ежедневно сталкиваются компании: Как сократить операционные расходы и найти скрытые резер...

Банк Ростеха НОВИКОМ подписал соглашение с Центральным банком Кубы о расчетах в рублях

Дочерний банк Госкорпорации Ростех заключил соглашения с Центральным банком Кубы и двумя крупнейшими коммерческими банками республики. Документы предусматривают организацию расчетов в рублях через счета в НОВИКОМе. Подписание состоялось на полях 22-го заседания Межправительственной Российско-Кубинской комиссии по торгово-экономическому и научно-техническому сотрудничеству в Гаване. Заключение с...

Фонд содействия инновациям совместно с Минпромторгом России открыл приём заявок на конкурс «Развитие-Станкостроение»

Конкурс стартовал в рамках национального проекта «Средства производства и автоматизации». «Правительство способствует максимальной локализации отечественных средств производства, а также комплектующих для них. Грантовая поддержка компаний, осуществляющих научные разработки в отрасли, позволяет существенно расширить номенклатуру станков, металлообрабатывающего и прессового оборудования, что, в с...

В Вене состоялось официальное открытие Центра промышленных компетенций БРИКС

9 апреля 2025 г. в штаб-квартире Организации Объединенных Наций по промышленному развитию (ЮНИДО) в Вене состоялось официальное открытие Центра промышленных компетенций БРИКС на базе ЮНИДО. Инициативу его создания выдвинула Россия в 2020 году во время своего председательства в БРИКС. На церемонии присутствовали генеральный директор ЮНИДО Герд Мюллер, заместитель Министра промышленности и торгов...

АЛРОСА завершила работу над огранкой самого крупного бриллианта в истории России

Вес уникального бриллианта редкого фантазийного цвета Vivid Yellow — более 100 карат Бриллиант получил название «Новое Солнце» — как отражение удивительной истории сверхкрупного алмаза весом более 200 карат насыщенного медово-золотистого цвета, который был добыт АЛРОСА на арктическом россыпном месторождении Эбелях. Этот природный минерал, рожденный около 1 млрд лет назад глубоко ...

Новая программа субсидируемого льготного лизинга строительно-дорожной и коммунальной техники начала действовать с 1 апреля

Начала действовать программа льготного лизинга коммунальной и строительно-дорожной техники, разработанная Минпромторгом России и госкомпанией ДОМ.РФ. В качестве одной из ключевых антикризисных мер данный инструмент поддержит отечественных производителей техники, расширит возможности для обновления парка таких машин в субъектах Российской Федерации и стимулирует привлечение частных инвестиций в эко...

6 Декабря 2010

Устройство, обеспечивающее возможность нанесения равномерного покрытия на внутреннюю поверхность длинномерной трубы малого диаметра.

Устройство, обеспечивающее возможность нанесения равномерного покрытия на внутреннюю поверхность длинномерной трубы малого диаметра.

Уcтрoйcтвo для нанеcения пoкрытия на внутреннюю пoверхнocть трубы

Автoры: Быcтрик Виктoр Алекcеевич, Бычкoв Никoлай Алекcандрoвич, Атаманoв Михаил Владимирoвич, Мирoшниченкo Владимир Иванoвич, Обрезкoв Олег Иocифoвич, Сoленoв Геннадий Иванович

Изобретение отноcитcя к уcтройcтвам для нанеcения металличеcких покрытий на внутреннюю поверхноcть длинномерных труб вакуумным раcпылением металлов в магнитном поле. Уcтройcтво cодержит коакcиально размещенные в вакуумной камере электроды с проходными изоляторами, соединенные с источником постоянного тока, и источник магнитного поля, скрещиваемого с электрическим полем. Одним из электродов является обрабатываемая труба, а вторым - мишень, длина которой не меньше длины обрабатываемой поверхности. При этом источник магнитного поля выполнен в виде источника тока, электрически соединенного с мишенью или с мишенью и проводником, расположенным в полости, выполненной в мишени. Конструкция устройства обеспечивает возможность нанесения равномерного покрытия на внутреннюю поверхность длинномерной трубы малого диаметра. 4 ил.

Известна магнертонная распылительная система (Б.С.Данилин, В.К.Сырчин. "Магнетронные распылительные системы". М.: "Радио и связь", 1982, стр.45, рис 35в), содержащая коаксиально размещенные в вакуумной камере с проходными изоляторами соединенные с источником постоянного тока электроды, одним из которых является подложка, а вторым - мишень, и источник скрещенного с электрическим магнитного поля. Источник магнитного поля выполнен в виде магнитной системы - катушек индуктивности, расположенных внутри мишени.

Такое устройство не применимо для нанесения покрытий на внутреннюю поверхность длинномерной трубы из-за ограниченной длины катушек индуктивности, а также на внутреннюю поверхность трубы малого диаметра, что объясняется большими габаритами катушек индуктивности. Кроме того, покрытие, получаемое при использовании такого устройства, имеет неравномерную толщину из-за концевого эффекта магнитной системы.

Наиболее близким к заявляемому и принятым в качестве прототипа является устройство, используемое для вакуумной обработки внутренней поверхности труб (RU 2039845, МПК6 C23C 14/35, опубл. 1995 г.), содержащее коаксиально размещенные в вакуумной камере с проходными изоляторами соединенные с источником постоянного тока электроды, одним из которых является обрабатываемая труба, а вторым - мишень, длина которой не меньше длины обрабатываемой поверхности, и источник скрещенного с электрическим магнитного поля.

Использование такого устройства позволяет наносить покрытия на внутреннюю поверхность неферромагнитной трубы малого диаметра. Для нанесения покрытия на внутреннюю поверхность ферромагнитной трубы необходимо создание мощного магнитного поля, кроме того, ограничена длина обрабатываемой поверхности трубы, и получаемое покрытие имеет неравномерную толщину по описанным выше причинам.

Задачей предлагаемого изобретения является обеспечение возможности нанесения равномерного покрытия на внутреннюю поверхность длинномерной трубы малого диаметра (порядка 20-40 мм).

Поставленная задача решается усовершенствованием устройства для нанесения покрытия на внутреннюю поверхность трубы, содержащего коаксиально размещенные в вакуумной камере с проходными изоляторами соединенные с источником постоянного тока электроды, одним из которых является обрабатываемая труба, а вторым - мишень, длина которой не меньше длины обрабатываемой поверхности, и источник скрещенного с электрическим магнитного поля.

Это усовершенствование заключается в том, что источник магнитного поля выполнен в виде источника тока, электрически соединенного с мишенью или мишенью и проводником, расположенным в полости, выполненной в мишени, что позволяет получить магнитное поле требуемой мощности вокруг мишени на всей ее длине (не меньшей длины обрабатываемой поверхности), при этом мишень или мишень, в полости которой расположен проводник, имеют диаметр, позволяющий расположить их коаксиально внутри обрабатываемой трубы малого диаметра и получить покрытие равномерной толщины.

Кроме того, мишень или мишень и проводник могут быть соединены с источником переменного тока, что позволяет снизить тепловое воздействие на один из проходных изоляторов, установленных в стенках вакуумной камеры.

Кроме того, вокруг проходных изоляторов могут быть установлены заземляющие кольца, препятствующие пробою изоляторов циклирующими над поверхностью мишени электронами.




Полезная модель поясняется чертежами, где на фиг.1 схематично изображено заявляемое устройство с мишенью, по которой пропускают электрический ток, на фиг.2 - выносной элемент А на фиг.1 с мишенью, по которой пропускают электрический ток, на фиг.3 - выносной элемент А с мишенью, в полости которой расположен проводник, на фиг.4 - выносной элемент А с мишенью, в полости которой с зазором расположен проводник. Стрелками показано направление потока охлаждающей жидкости.

Устройство для нанесения покрытия на внутреннюю поверхность трубы содержит коаксиально размещенные в вакуумной камере 1 с проходными изоляторами 2 и 3 соединенные с источником 4 постоянного тока электроды 5 и 6. Электродом 5 является обрабатываемая труба, а электродом 6 - мишень, длина которой не меньше длины обрабатываемой поверхности. Источник скрещенного с электрическим магнитного поля выполнен в виде источника 7 тока, электрически соединенного с мишенью 6 (фиг.2). В случае, когда мишень 6 имеет большое электрическое сопротивление, источник 7 тока электрически соединен мишенью 6 и проводником 8, расположенным в мишени 6 (фиг.3). В варианте на фиг.4 проводник расположен в полости 9, выполненной в мишени с зазором, по которому подают охлаждающую жидкость. Вокруг проходных изоляторов 2, 3 установлены заземляющие кольца 10.

Устройство для нанесения покрытия на внутреннюю поверхность трубы работает следующим образом. Инициируют вакуумный электрический разряд между электродами 5 и 6 путем создания разности потенциалов (к обрабатываемой трубе 5 прикладывают положительный потенциал, а к мишени 6 - отрицательный от источника постоянного тока 4). Плазма разряда воздействует на наружную поверхность мишени 6 при наложении на разрядную зону скрещенного с электрическим магнитного поля. Магнитное поле создают пропусканием электрического тока через мишень 6 (фиг.2) или через мишень 6 и проводник 8 (фиг.3, 4), расположенный в полости 9, выполненной в мишени 6 (фиг.4). В приведенном варианте в качестве источника электрического тока используют источник переменного тока 7. В вакуумную камеру подают инертный газ (например, аргон) и осуществляют охлаждение мишени 6 при подаче охлаждающей жидкости в полость мишени 6. За счет бомбардировки поверхности мишени 6 ионами газа, образующимися в плазме разряда, и их локализации у поверхности мишени 6 происходит распыление ее материала и осаждение на внутреннюю поверхность трубы 5. При этом получают покрытие равномерной толщины за счет создания равномерного магнитного поля по всей длине обрабатываемой поверхности.

Таким образом, использование предлагаемого устройства для нанесения покрытия на внутреннюю поверхность трубы позволяет получить равномерное покрытие на внутренней поверхности длинномерной трубы малого диаметра.

Кол-во просмотров: 15679
Яндекс.Метрика