ВАЖНЫЕ НОВОСТИ
Утверждена разработанная Росатомом и Ростехом дорожная карта по развитию высокотехнологичной области «Новые производственные технологии»

Дорожная карта по развитию высокотехнологичной области «Новые производственные технологии», разработанная Госкорпорацией «Росатом» совместно с Госкорпорацией Ростех, была утверждена 23 июля 2021 года президиумом Правительственной комиссии по цифровому развитию, использованию информационных технологий для улучшения качества жизни и условий ведения предпринимательской деятельности. Дорожная карта...

В России запущен онлайн-сервис «Готов к цифре»

В рамках национальной программы «Цифровая экономика» Минцифры России и консорциум по развитию цифровой грамотности запускают образовательный ресурс готовкцифре.рф. Новый портал является агрегатором сервисов по тестированию уровня цифровой грамотности, обучению безопасной и эффективной работе с цифровыми технологиями. В создании ресурса приняли участие 18 компаний, которые в марте этого года объ...

Общественный транспорт сокращает интервалы движения на МАКС

АО "Авиасалон", устроитель Международных авиационно-космических салонов, накануне выходных согласовало график движения общественного транспорта с сокращёнными интервалами. Увеличение количества составов пригородных поездов Казанского направления, а также числа автобусов, курсирующих между платформами "Отдых" и "Есенинская" и выставочным комплексом, позволяет обеспечить выполнение рекомендаций Росп...

Итоги первого дня работы авиасалона МАКС-2021

Работу XV Международного авиационно-космического салона МАКС-2021 открыл Президент Российской Федерации Владимир Путин. По традиции он обратился с приветствием к организаторам, участникам и гостям Салона, осмотрел экспозиции ведущих компаний, понаблюдал за демонстрационными полётами. Выступая на торжественной церемонии открытия авиасалона, он отметил, что МАКС, несмотря на сложности, вызванные ...

Минэнерго России разработало проект постановления по модернизации и строительству тепловой генерации в неценовых зонах

Минэнерго России разработало проект постановления Правительства РФ по модернизации и (или) строительству тепловой генерации в неценовых зонах энергорынка, куда входят регионы Дальнего Востока, Калининградская и Архангельская области, Республика Коми. Соответствующий проект прошёл процедуры общественного обсуждения и направлен на согласование в профильные ведомства. Документ определяет механизмы...

Столичный экспорт во Францию вырос более чем в три раза

По итогам первого квартала 2021 года московский несырьевой неэнергетический экспорт (ННЭ) во Францию вырос более чем в три раза и достиг 48,1 миллиона долларов США. На долю Москвы в общероссийском ННЭ во Францию за этот период пришлось более 22%, сообщил заместитель Мэра Москвы по вопросам экономической политики и имущественно-земельных отношений Владимир Ефимов . «Москва и Франция системно раз...

10 Декабря 2009

Cпособ получения зондов с углеродными нанотрубками

Cпособ получения зондов с углеродными нанотрубками


Автoры: Антoненкo Сергей Ваcильевич, Малинoвcкая Ольга Сергеевна.


Изoбретение oтнocитcя к oблаcти вакуумнoй техники и технoлoгии пoлучения углерoдных нанocтруктур, таких как углерoдные нанoнoтрубки на кoнчике зoндoв, которые применяютcя в зондовой микроcкопии для прецизионного cканирования. Споcоб получения зондов c углеродными нанотрубками оcущеcтвляетcя путем нанеcения углеродных пленок c нанотрубками методом магнетронного раcпыления в вакууме при поcтоянном токе 100-140 мА c иcпользованием мишени из углерода с катализатором роста нанотрубок. Заготовки зондов помещают в вакуумную установку. Далее проводится напыление углеродной пленки с нанотрубками в остаточной атмосфере инертного газа. Изобретение позволяет получать зонды с углеродными нанотрубками, расположенными перпендикулярно поверхности зонда, в необходимых количествах, без использования взрывоопасных веществ и сложных установок.


Изобретение относится к области вакуумной техники и технологии получения углеродных наноструктур, таких как углеродные нанотрубки на кончике зонда. Они могут быть использованы в зондовой микроскопии в качестве сканирующего зонда для прецизионного сканирования, заметного улучшения контроля качества образцов и для нанолитографии.


Данный способ был реализован с помощью научно-исследовательской вакуумной установки УРМ-3 [3].

На фиг.1 изображена схема экспериментальной установки, состоящей из вакуумной камеры 1, магнетронного узла с мишенью 2, держателя образцов 3 и пластины с зондами 4. В качестве мишени использовался диск из чистого графита для стержней реакторов с металлическими катализаторами Y, Ni (иногда Со, Fe). Площади поверхностей составных частей мишени соотносились как C:Y:Ni=94:5:1. После предварительной откачки в камеру напускался рабочий газ - аргон. В качестве заготовок зондов использовалась платино-иридиевая, вольфрамовая и золото-коваровая проволока. Проволока, разрезанная на части длиной 2-3 см, закреплялась в держателе образцов на расстоянии 3-5 см над мишенью.

Эти заготовки зондов помещались в вакуумную установку. Далее проводилось напыление углерода в остаточной атмосфере инертного газа. Электрический режим разряда: постоянный ток питания мишени 100-140 мА, напряжение разряда 150-400 В.

Полученные зонды с нанотрубками исследовались на растровом электронном микроскопе (РЭМ), а также проводилось сравнительное тестирование с зондами без нанотрубок на сканирующем туннельном микроскопе (СТМ).

Методом РЭМ были исследованы кончики зондов - на большинстве зондов были обнаружены нанотрубки диаметром от 10 нм, расположенные перпендикулярно к поверхности зонда.

По результатам сравнительного тестирования полученных зондов и зондов без нанотрубок была подтверждена высокая разрешающая способность зондов с нанотрубками вплоть до атомарного разрешения. 


Таким образом, предлагаемый способ позволяет получать зонды с углеродными нанотрубками диаметром от 10 нм и расположенными перпендикулярно поверхности зонда в необходимых количествах без использования взрывоопасных веществ (углеводородов и т.п.) и сложных установок. Помимо этого получаемые зонды отличаются прочностью, малодефектностью и износостойкостью.

Список литературы:

[1] А.В.Н. Тау, J. Т. L. Thong «Fabrication of super-sharp nanowire atomic force microscope probes using a field emission induced growth techniques». // Review of scientific instruments, v. 75, 10 (2004), 3248-3255.

[2] Y. Shingaya, T. Nakayama, M. Aono «Carbon nanotube tip for scanning tunneling microscopy». // Physica B, 323 (2002), 153-155.

[3] Антоненко С. В., Мальцев С.Н., RU 2218299 С1, 17.07.2002.

Кол-во просмотров: 9113
На правах рекламы